宇宙利用半導体デバイス の 重イオンビーム耐性評価試験

●　主に Ar, Kr 等の 高LETビームの照射を行っています。
●　空気中照射でも、Si 材の深さ数100μm〜数mmまで届きます。
●　加速器を再調整せずに利用者がビームのエネルギー(LET)を変更可能です。
●　照射試料は空気中なので、信号ケーブルの取り回し、試料交換が容易です。 ●　遠隔操作で照射位置(X,Y)、照射角度の変更が可能です。
●　ヒーター加熱による高温耐性試験もサポートします。
●　ビームサイズは 直径 約φ5cmでフラックス一様性は約±10%です。
●　フラックス量は 約 10〜10^7 個/cm2 の範囲で変更可能です。

より詳しい情報は、照射環境をご参照ください。 但し空気中照射は、真空中照射と異なり、 ビームは真空切り膜や空気など多くの物質を通過してから照射されますので、 ビームの純度・LET幅などが劣化します。詳しくは 技術情報をご参照ください。

●　当施設では 前期(4〜9月）後期(10〜3月)に分けた 年２期制のビームタイムスケジュールを行ってます。課題募集や実施時期については、 お知らせをご参照ください。
●　Ar と Kr ビームは 料金表で、 施設種別＝[AVF+RRC] 欄になります。
●　ご利用方法を参照の上、 施設共用窓口までご連絡ください。

【注】 当事業は「受託試験」ではありません。
照射ビームタイムの共用利用事業です。試験方法の指導もできません。
照射試験は利用者が行います。利用者が、照射物や試験測定器の搬入・設置、 試験計画の立案、照射試験中の人員の確保、照射物の撤収・搬出をしてください。 通常は、放射線管理区域での作業資格を有した試験検査会社殿 と一緒にご利用ください。
【注】 いきなり 高 LET ビーム(Kr以上) で大丈夫ですか？
初めて照射するデバイスは、中 LET ビーム(C〜Ar,Fe等) から試験 をする事をオススメします。 特に "NewSpace" 関連の利用者は、専門の試験会社(コンサルタント)と 同種の デバイスのLET耐性について、予め十分に相談してからご利用ください。
【注】 当事業の対象は日本企業のみです。

是非、施設見学においでください。 半導体試験用の ビーム照射室(E5Aコース) は、随時見学可能です。 施設共用窓口までご連絡ください。

●　見学案内用資料 　加速器、E5Aコースなどの紹介
●　初めてご利用の企業様へ 　利用検討・打合せ 用資料