SRIMfit サンプル画像
例１）物質通過「後」のエネルギー計算
40Arビームが、Si, Al, Air, Kapton などを通過した後のエネルギーを計算して、
グラフを描くエクセルシートです。
「固体」物質通過「後」の計算には srEnew() 関数、
「気体」物質通過「後」の計算には srEnewGas() 関数
を用います。それぞれの関数には、簡単な説明も表示されます。
例２）物質通過「前」のエネルギー計算
84Krビームが、Au,Kapton,Mylar,PLシンチ,エネルギー減衰板(Al),空気を通過してから、
試験サンプル(Si)に照射されます。サンプルの 100μm深さで LET=14 になるようにしたいとします。
その時、元のビームエネルギー(加速器からのビームエネルギー）は、いくつである必要がありますか？
といった問題を計算するためのエクセルシートです。
物質通過「前」のエネルギー計算には srEold(), srEoldGas() 関数
を用意してあります。
例３）SRIM計算の結果を 内挿計算用のデータとして使用しています
予め SRIMコードを用いて「Stopping/Range Table」を算出し、 その値をコピペしてエクセルのデータシートを作っておきます。 上記で説明した sr〜() 関数は、このデータシートを参照して 単純に内挿計算を行うマクロ関数群です。このマクロに "物理" は入っていません。
例４）E5空気中照射： 半導体試験
E5Aコースでは宇宙用半導体の重イオンビーム耐性試験が行われています。
重イオンビームを空気中に取出して多層構造の半導体デバイスに照射する場合
「感応層位置で 希望LET値 にするにはエネルギー 減衰板が何μm 必要か？」
といった照射計画を策定するのに役立ちます。